Влияние расхода кислорода при осаждении на коэффициент трения пленок оксинитрида титана.
| Направление | Электроника и оптоэлектронные приборы |
|---|---|
| ФИО авторов | Шестаков Дмитрий Сергеевич |
| Организация | Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет «ЛЭТИ» им. В. И. Ульянова (Ленина) СПбГЭТУ |
| Доклад | Просмотреть доклад |